真空系統廣泛用于各種不同的工藝過程,其種類十分繁多。按真空系統抽氣過程的狀態來分,有兩大基本類型,即開式真空系統和閉式循環系統。
開式真空系統中有氣體流動、各處壓力不等,系統中各截面之間有壓力差,最后一級真空泵將被抽氣體排到大氣中去。閉式真空系統的抽氣設備與被抽容器是封閉在一起的,剛開始抽氣時系統內也有壓力差,有氣體流動,但達到動態平衡時.系統內各處的壓力幾乎相等,其主要特點是沒有氣體從系統中排出到系統外的大氣中去。
按真空系統的工作壓強分,有粗真空系統、低真空系統、高真空系統、超高真空系統、極高真空系統。
按真空系統的清潔程度分:有油真空系統、無油真空系統。
按被抽系統的結構材料分:玻璃真空系統、金屬真空系統。
由于人們的習慣.在實際應用中也經常把上述不同的分類加以綜合,諸如“大型動態金屬高真空系統”、“無油超高真空系統”、“玻璃高真空系統”等.
可見,上述分類方法不是嚴格不變的,往往結合真空系統的特點給以恰如其分的稱呼,可能更適用些。
把真空系統加以分類的目的,在于找出同類真空系統的特殊性,用以指導各種真空系統的設計、制造、裝配和使用。