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              中低真空系統的典型形式及概述

              真空應用非常廣泛,用于各種不同工藝過程的真空系統種類十分繁多。下面介紹一些典型的真空系統形式.

              低真空系統

              這種真空系統的極限真空度在低真空范圍內,只需用機械泵給真空室排氣,系統比較簡單。

              中真空系統

              這種系統應用比較普遍,許多應用設備都采用這種系統。如自耗爐真空系統、感應爐真空系統、熱處理爐真空系統等。中真空系統一般是由兩個以上的泵串聯組成的.以下就是幾種常見的中真空系統。

              (1)油增壓泵(主泵)串聯機械泵(前級泵)的真空系統.該系統的工作壓強范圍為1.33~0.133Pa,其優點是抽氣能力大.系統簡單.振動小。工作穩定可靠.維修方便,成本低。缺點是預抽時間

              長(同羅茨泵系統比較),因為在1.33~133.3Pa壓強范圍內.油增壓泵和機械泵抽速都下降,工作中需要較貴重的增壓泵油。

              (2)羅茨泵串聯機械泵的真空系統。該系統的工作壓強范圍為1.33~1333Pa。不但抽氣能力大.而且啟動快.預抽氣時間短。在1.33~101325Pa壓強范圍內,機械泵和羅茨泵最大抽速能很好銜接上。缺點是工作時有振動,且噪聲大;工作中隨時間增加,羅茨泵性能下降。

              (3)羅茨泵串聯小型羅茨泵(中間泵),再串聯機械泵的真空系統。這種系統工作壓強范圍為0.133~1333Pa,不但工作壓強范圍大,而且工作真空度高.同時具備了羅茨泵系統的特點。中間串聯的小型羅茨泵減小了主羅茨泵對前級機械泵的依賴性。因為壓縮比減小,加寬了工作壓強范圍并提高了極限真空度。

              (4)以油增壓泵和羅茨泵為主泵,兩個泵出口串聯羅茨泵.再串聯機械泵的真空系統。這種系統的工作壓強范圍為0.133~1333Pa。該系統具有羅茨泵系統和油增壓泵系統的雙重特點。

              (5)還有油增壓泵串聯羅茨泵,再串聯機械泵的真空系統,羅茨泵串聯水環泵的真空系統等。


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