真空應用非常廣泛，用于各種不同工藝過程的真空系統種類十分繁多。下面介紹一些典型的真空系統形式.

低真空系統

這種真空系統的極限真空度在低真空范圍內，只需用機械泵給真空室排氣，系統比較簡單。

中真空系統

這種系統應用比較普遍，許多應用設備都采用這種系統。如自耗爐真空系統、感應爐真空系統、熱處理爐真空系統等。中真空系統一般是由兩個以上的泵串聯組成的.以下就是幾種常見的中真空系統。

(1)油增壓泵(主泵)串聯機械泵(前級泵)的真空系統.該系統的工作壓強范圍為1.33~0.133Pa,其優點是抽氣能力大.系統簡單.振動小。工作穩定可靠.維修方便，成本低。缺點是預抽時間

長(同羅茨泵系統比較)，因為在1.33~133.3Pa壓強范圍內.油增壓泵和機械泵抽速都下降，工作中需要較貴重的增壓泵油。

(2)羅茨泵串聯機械泵的真空系統。該系統的工作壓強范圍為1.33~1333Pa。不但抽氣能力大.而且啟動快.預抽氣時間短。在1.33~101325Pa壓強范圍內，機械泵和羅茨泵最大抽速能很好銜接上。缺點是工作時有振動，且噪聲大;工作中隨時間增加，羅茨泵性能下降。

(3)羅茨泵串聯小型羅茨泵(中間泵)，再串聯機械泵的真空系統。這種系統工作壓強范圍為0.133~1333Pa，不但工作壓強范圍大，而且工作真空度高.同時具備了羅茨泵系統的特點。中間串聯的小型羅茨泵減小了主羅茨泵對前級機械泵的依賴性。因為壓縮比減小，加寬了工作壓強范圍并提高了極限真空度。

(4)以油增壓泵和羅茨泵為主泵，兩個泵出口串聯羅茨泵.再串聯機械泵的真空系統。這種系統的工作壓強范圍為0.133~1333Pa。該系統具有羅茨泵系統和油增壓泵系統的雙重特點。

(5)還有油增壓泵串聯羅茨泵，再串聯機械泵的真空系統，羅茨泵串聯水環泵的真空系統等。