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              真空鍍膜機抽氣系統的設計

              真空鍍膜設備對抽氣系統有以下基本要求。

              (1)應有足夠大的抽氣速率,既能迅速抽走鍍膜過程中基片及蒸發材料和真空室內各構件所放出的氣體,也能迅速抽走濺射和離子鍍膜過程中的摻氣及系統的漏氣,為提高生產效率,應能快速操作。

              (2)鍍膜機抽氣系統的極限真空度應根據鍍制薄膜的不同而有所選擇。

              (3)在油擴散泵為主泵的抽氣系統中,返油率越小越好,因為油蒸氣會污染工件表面而造成膜層質量下降。對膜的質量要求特別高的場合。最好采用無油系統。當采用油擴散泵抽氣系統時,應在泵入口處沒置機械阱、冷阱等元件.并注意元件的氣導率.以確保系統的最大抽速。

              (4)鍍膜室及其抽氣系統的漏氣率要小,必須把系統的總漏氣率限制在允許的范圍之內.

              (5)真空系統的操作、使用及檢修、維護方便,性能穩定可靠。

              在鍍膜機抽氣系統的設計中,抽空真空室、特道、閥門、阱等元件中所固有的空氣是選擇預抽真空泵、縮短預抽時間的依據,而選擇主泵時所需考慮的是各種放氣量,如被鍍基體的放氣,蒸發材料或靶的放氣,真空室內壁及室內所有構件表面因壓強降低和溫度升高所放出的氣體,從真空室外翻入到系統內的氣體。

              鍍膜室的漏氣率國內尚無標準,設計時可選取漏氣量為10-4Pa·L/s,壓強增長率為0.05~0.1 Pa/min.


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