在真空泵設備的加工階段，有必要跟隨加工工藝(尤其是焊接工藝)及時地對半成品零部件進行檢漏。對于制造完畢后無法接觸、檢漏或修補的部件，焊縫質量要嚴格檢漏，不合格的及時重焊、補焊并重新檢漏，符合要求后才可以進行下一道工序。特別是對于大容器的租焊、加工。中間過程的檢漏十分關鍵，必要時應該設計、制造專門的檢泥工具(如探漏盒、盲板等)。對于采用雙層室壁水冷夾套的真空室體，最好首先組焊完內層室壁并檢漏，確認沒有漏孔后再組焊外層室壁。同樣道理，對于室壁外側有保溫層等不易拆卸結構的情況，必須首先對室壁做嚴格檢漏.然后才能包搜外層結構。

在條件允許情況下，所有真空法蘭與其接管(包括真空室體法蘭與室體壁)均應采用焊后加工法蘭表面的工藝。不經焊后加工的法蘭，即便在安裝調試階段可能滿足了密封要求，但在設備使用過程中，受熱、振動等因素也可能誘發焊接應力的釋放，從而導致法蘭變形和密封性能下降。

加工制造過程中，嚴格執行真空作業衛生和作業規范。對于提高真空設備和系統的氣密性也是很有幫助的。焊接坡口打磨成型后.需經去油清洗并及時保護防止再次受到污染，將有利于提高焊縫的氣密性。己經加工完成的零部件動、靜密封面，應該具有保護措施，嚴防在存放、撅運、裝配過程中發生磕碰、劃傷.使用焊接波紋管、金屬與陶瓷或玻瑞封接件、玻璃器件等易損件時，更應精心作業，尤其避免已經通過預檢漏后被損壞而產生漏孔。